净化技术设备发展和应用趋势报告

洁净技术又称为生产环境和污染控制技术，是近二、三十年来随着高新技术发展起来一门综合性的新兴科学技术。洁净技术专门研究并提供洁净的生产艺术环境和生产过程中使用的各种高纯介质，有效地控制微量杂质，以保证高科技产品的成品率和可靠性。洁净技术通常包括：空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术、微量杂质控制技术、洁净环境的监测技术及相关的环境质量的控制技术。净化工程技术在电子、核子、航空航天、研究院所、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域及现代科学领域中得到广泛应用。
  对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。
随着我国人民生活水平提高，人们对生存环境及质量提出了越来越高要求，用水纯化设备制做的高纯水已受到人们普遍欢迎，净化工程技术已开始进入千家万户，进入人们的现代生活。
  我国的洁净技术和设备与国外先进国家相比差距是明显的，我国1965年才开始生产的hepa过滤器，比国外晚了十五年。1975年开始生产的光散射尘埃粒子计数和国外比算起来也是比较晚的。很多洁净技术和设备在国际先进国家技术已相当成熟，我国则刚刚起步。
  世界各工业先进国家为适应超净技术的发展，对大量使用的高效过滤器的研究从未中断，几年来一直在开发不同结构不同性能的新产品，美国自1979年开始研制0.1微米ulpa过滤器，1984年美国aaf公司
开始生产0.1微米无隔板ulpa过滤器，目前这种过滤器在美国aaf公司、flanders公司和cambridge公司已形成商品化生产。日本也成为世界上生产此种过滤器厂家Zui多的国家，产品系列化，尤其是低压损型0.1微米ulpa过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。国际市场对高效过滤器的需求量很大，每年都均有增长，我国高效空气过滤器市场需求量已接近每年10万台，占国际市场的2%-4%，但至少还没有0.1微米ulpa过滤器生产，用于超大规模集成电路生产洁净厂房及各种高科技领域洁净厂房的0.1微米ulpa过滤器目前还要依赖进口。
  德国mw公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项Zui新的洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到别的微环境，消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。
  洁净技术和装备的国际市场十分巨大，日本到80年代末、90年代初洁净技术和设备的销售额已经突破35亿美元。美国和西欧等先进国家洁净设备和基础部件的销售额已达到73亿美元。据中国电子专用设备工业协会统计，我国主要八家Zui大的净化设备厂的销售额1990年为8217万元，还不足一亿，1993年达到14495万元，占国际市场销售额的0.34%。但随着我国高新技术的迅速发展和微电子工业、光纤工业、液晶显示工业及光电器件工业、生物工程、医药工业的发展，我国潜在的巨大的洁净技术产品市场，将以更快的增长速度在增加。